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本研究分析了氧分压对脉冲激光沉积SrTiO₃薄膜的影响,发现氧分压是关键参数,影响薄膜的结晶性、晶格常数和表面形貌。低氧分压下,STO薄膜c轴晶格常数拉长,表面颗粒细小且数量多;高氧分压下,晶粒尺寸变大,颗粒数目减少。XRD显示结晶性随氧分压增加而减弱,AFM测试结果与XRD相符。透射谱测试表明,薄膜在紫外波段有较强吸收,可见光和红外波段吸收较低。研究还涉及SrCoO₂.₅薄膜的拓扑相变,发现退火至600℃时,薄膜从反铁磁转变为铁磁,Co价态和氧含量变化,晶格常数稍大于理论值。XPS分析揭示Co价态和氧含量变化,磁性测试显示退火后磁性增强。光学性质改善,吸收和透射降低。AFM分析显示退火后表面颗粒尺寸增大,粗糙度增加。研究为SrCoOₓ在电化学器件的应用提供了物理化学性质调控的新见解。